VS系列真空检漏仪能为不同的应用提供广泛的测试方法,含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面,以及可选功能组件。 安捷伦真空氦质谱检漏仪应用于工业真空炉、镀膜系统、电子束焊接设备;电厂冷凝器、热交换器、蒸汽管线、地下冲压电缆;高能物理同步加速器、束线、同步辐射光源;电子扫描显微镜、半导体加工、薄膜制备、质谱分析、真空电子管、激光加工等领域。 真空氦质谱检漏仪特点: 多种语言和计量单位选择,可选中文界面 135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术,金属密封结构 新的电子线路及信号处理设计 较小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程 快速清氦和快速响应 测试口耐压高,可实现大漏检漏